不锈钢齿轮泵设备的镀膜工艺

　　

　　由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、耗以及振动等问题给用户造成不良影响，如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油阀题。不锈钢齿轮泵设备的镀膜工艺中，在20~40Pa真空条件下镀膜时，如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染，影响成膜量。半导体晶片制造工艺当中使用油泵与使用干泵相比，成品率存在509l左奋涸的差距，并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染。仪器行业尤其是在分析试仪器行业，采用不锈钢齿轮泵对测试结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采涸用涡旋无油真空泵作为前级真空泵的作用也相当明显。另外涡旋无油真空泵消酒除了普通油泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼。

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